Вплив iзовалентної домiшки Ge i термовiдпалiв на електрофiзичнi властивостi кристалiв кремнiю

ЗаголовокВплив iзовалентної домiшки Ge i термовiдпалiв на електрофiзичнi властивостi кристалiв кремнiю
Тип публікаціїJournal Article
Рік публікації2016
АвториГайдар, ГП, Баранський, ПI
Abbreviated Key TitleDopov. Nac. akad. nauk Ukr.
DOI10.15407/dopovidi2016.07.062
Номер видання7
РозділФізика
Нумерація сторінок62-69
Дата публікації07/2016
МоваУкраїнська
Анотація

У зразках Cz−Si n-типу, легованих iзовалентною домiшкою германiю, виявлено суттєве зниження ефективностi утворення термодонорiв у процесi термовiдпалiв, а також встановлено пiдвищення радiацiйної стiйкостi приблизно на порядок при опромiненнi nSi ⟨Ge⟩ швидкими нейтронами реактора.

Ключові словаiзовалентна домiшка, германiй, кремнiй, опромiнення, радiацiйна стiйкiсть, термовiдпал, швидкi нейтрони